Słownik technologii allee
Co to jest Litografia DUV?
Naświetlanie wzorów na płytce za pomocą światła ultrafioletowego o dłuższej fali niż w EUV. Używana w procesach dojrzałych.
Słownik technologii allee
Naświetlanie wzorów na płytce za pomocą światła ultrafioletowego o dłuższej fali niż w EUV. Używana w procesach dojrzałych.